Большой энциклопедический политехнический словарь - фотошаблон от фото и шаблон

стеклянная пластина с нанесённым на её поверхности маскирующим слоем - покрытием заданной конфигурации, непрозрачным для оптич. излучения. Используется для локального экспонирования светом поверхности подложки в процессе фотолитографии при изготовлении интегральных схем, запоминающих устройств и т. д. Материалом маскирующего слоя Ф. обычно служат хром, оксиды хрома, железа и Др.